近日，由河南省科技厅和洛阳市科技局组织专家组对黎明化工研究院承担的“新型电子气体三氟化氮（NF3）技术开发”进行了验收。该项目由黎明院和美国Fluorochem公司合作开展，采用直接氟化法新工艺，成功地合成了新型电子蚀刻气体三氟化氮（NF3），填补了国内空白。
三氟化氮是近年来刚刚发展起来的一种新型电子材料，是信息产业中优良的等离子蚀刻和清洗气体，对硅等半导体材料，尤其是厚度小于1.5μm的集成电路材料，NF3比其它气体有更加优秀的蚀刻速度和选择性，而且对蚀刻表面无污染，市场应用前景广阔。黎明院于上世纪60年代就开始了电解制氟的科学研究，目前已经拥有国内最大的制氟量，达到12000吨/年。此次采取国际合作方式，利用先进的电解制氟工艺，开发氟气下游高端产品，可以丰富并优化该院的产品结构。目前该院合成NF3纯度已达到99.9%，超过科技计划任务书99.7%的指标，并达到美国APCI标准99.9%的要求。在此基础上，该院正进一步引进消化吸收和改进三氟化氮生产技术，有望在短时间内实现该氟化产品的产业化。这项通过国际科技合作攻克的技术难题，生产应用后将为洛阳电子材料产业抢占国内外高端市场，打下坚实的基础 .
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